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题名:
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基于MEMS技术的热梯度器件研究 / 聂金泉著 , |
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ISBN:
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978-7-5170-7299-7 价格： CNY59.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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192页 图表 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 中国水利水电出版社 出版日期： 2019 |
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内容提要:
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本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度器件，设计了一种新型梯度加热器，通过理论分析和数值模拟对器件的温度性能进行优化，并完成温度性能测试。书中主要讲述了热梯度器件的设计，热梯度器件的加工与制作，温度控制系统等方面内容。 |
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主题词:
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微机电系统 工艺过程设计 |
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主题词:
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工艺过程设计 |
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主题词:
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研究 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 4 |