|
题名:
|
磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能
/
肖剑荣著
,
|
|
ISBN:
|
978-7-5170-7439-7
价格：
CNY57.00
|
|
语种:
|
chi
|
|
载体形态:
|
173页
图表
24cm
|
|
出版发行:
|
出版地：
北京
出版社：
中国水利水电出版社
出版日期：
2019
|
|
内容提要:
|
本书研究了薄膜的工艺参数、薄膜结构与性能等之间的内在关系，探讨了薄膜的电子输运、光学带隙、热稳定性的有关物理量的变化机制。
|
|
主题词:
|
铜
金属薄膜
|
|
主题词:
|
铜
金属薄膜
|
|
主题词:
|
金属薄膜
|
|
主题词:
|
氮化处理
|
|
主题词:
|
结构
|
|
主题词:
|
研究
|
|
主题词:
|
性能
|
|
中图分类法:
|
TF811
版次：
4
|