检索条件： 硅烷法 ( 主题词 )
责任者 冶金部北京有色冶金设计院
出版信息 科学出版社 ,1972
ISBN 15031.25
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硅烷法制取高纯硅：国外资料汇编
冶金部北京有色冶金设计院.科学出版社,1972.
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